自社にあった非接触厚さ計がわかる|非接触厚み図鑑

“計測対象物”から選び、精度を高める
非接触厚さ計3選

非接触厚さ計は大きく「放射線式」「レーザー式」「赤外線式」があり、
それぞれ測定対象や使用環境によって得意とする分野が異なります。
計測方式の違いを、導入前に理解しておくことが大切です。

本メディアでは、非接触厚さ計を導入検討中の企業向けに、
計測対象別のおすすめの製品3選を紹介します。

【計測対象別】
非接触厚さ計3選

非接触厚さ計は、計測対象となる材料や使用環境に合ったタイプを選ぶことが大切です。
ここでは、計測対象別に適した非接触厚さ計3製品を
紹介していきます。

連続生産ラインの
薄物シート材なら

『SX-1100』
ナノグレイ

  • 放射線式

    X線やβ線を素材に照射し、透過した放射線量から厚さを算出。
    振動や素材の色に影響されず、安定した非接触測定が可能。

    【こんな用途におすすめ】
    • 材質が透明・半透明(フィルム、ガラス)、黒色・光沢のあるものを計測したい
    • 高速搬送や振動がある連続ラインで、薄物シートのリアルタイム監視を行いたい
    放射線式
放射線式
揺れ・素材に強い
汎用型モデル
  • 物質を透過し測定するX線式を採用しているため、黒色材、散乱体など素材を選ばず「透過測定」が可能
  • 高感度・高速応答の放射線検出方法「シンチレーション検出器」採用で、金属箔など薄物の搬送系での精度±0.1μmを実現
搬送で揺れのない
厚物シート材なら

『thicknessGAUGE C.LL』
Micro-EpsilonJapan

  • レーザー式

    上下のレーザー変位センサで表面距離を測定し、その差から厚さを算出。
    非接触でμm単位の高精度測定が可能。

    【こんな用途におすすめ】
    • 金属・薄いプラスチックで放射線を避けたい
    • 静止または揺れの少ない搬送環境で正確に測りたい
    レーザー式
レーザー式
剛体向け
高精度モデル
  • 揺れのない対象物に精度の高い計測ができる「三角測量方式」を採用し、システム
    精度±1/±5μmを実現
  • 金属・木材・プラスチックなど、一般的な工業材料に対応し、材質ごとの反射率の違いに左右されにくい安定した測定ができる
化学組成の異なる
多層フィルムなら

『赤外線極薄厚さ計IRMT01』
チノー

  • 赤外線式

    素材が特定波長の赤外線を吸収する性質を利用し、層ごとの厚みを測定。
    多層フィルムの非破壊・非接触測定に向いている。

    【こんな用途におすすめ】
    • コーティング膜や電池電極など多層を見分けたい
    • 極薄膜をリアルタイムでモニタリングしたい
    赤外線式
赤外線式
薄膜対応の
層別測定特化モデル
  • 表面反射を除去して精度を高める「P偏光正反射方式」により、異なる化学組成の層を識別しやすい
  • 10µm以下の極薄膜に対応し、28msの高速更新周期でインライン厚み管理が可能。リアルタイムに変化を把握でき、工程調整や不良発生を抑制

【計測対象別】
非接触厚さ計3選の詳細

3製品について、計測対象別にさらに詳しい情報を解説していきます。
それぞれの製品をおすすめする理由、導入事例、メーカーのサポート内容についてまとめていますので、導入前の情報収集にお役立てください。

連続生産される
薄物シート材なら

『SX-1100』 ナノグレイ

放射線式
ナノグレイ公式サイト
引用元:ナノグレイ公式サイト
https://www.landingpage-synergy.com/Pm3Aua4w/
装置仕様
測定方法
X線透過方式
検出方法
シンチレーション検出器方式
測定対象物
フィルム・箔など測定対象に合わせ設計
測定ピッチ
標準 2mm(さらに細かいピッチも対応可能)
スキャン幅
標準150~3,000mm(他の幅も対応可能)
スキャン速度
15~200mm/sec(標準)
フレーム構造
O型、C型、他各種フレーム
特殊な設置方法(片側が開いたフレーム、斜めラインへの設置)にも対応
スポットサイズ
約φ7.5mm(標準)(ワーク上)
X線源部
70×83mm×250mm(標準)
検出部
70×83mm×220mm(標準)
電源
100V 単相 1kVA
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ナノグレイの非接触厚さ計がおすすめな理由

連続生産ラインでも
安定測定し、
薄物シート材の品質管理を効率化

軟X線の透過減衰量で測定を行う厚さ計は、「空気層→サンプル→空気層」と、X線が透過する間の減衰を測定する仕組みです。
ライン搬送中にシートが揺れても、影響するのは空気層の厚みの変化のみ。この変化が減衰量へ与える影響は極めて小さく、安定した計測が行えます。

さらに、X線は物質の原子構造に依存して透過するため、色・表面形状・環境の照度といった外的要因に左右されません
この特性により黒い薄物シートやフィルム、散乱体なども測定でき、効率的な品質管理を可能にします。

高感度検出と
可変管電圧により、
多様な素材を一台で
高精度計測

SX-1100では、放射線検出器の一種である
シンチレーション検出器の採用で高感度・高速応答を実現し、計測精度を高めています。

管電圧を調整できるX線管の採用で、発生するX線のエネルギーを幅広く制御することが可能。
プラスチック(フィルム、板)0~200mm、
アルミ(箔、板)0~200mm、銅・チタン・SUS(箔)0~0.5mmなど一台でさまざまな
元素や厚さに対応
。素材に適した条件かつ、±0.1μmの高精度で測定できます。

資格なしで誰でも安全に
装置を使用できる

低出力のX線管と高感度のシンチレーション検出器を組み合わせることで、必要最小限の線量で安定した測定が可能となり、放射線の強度を抑制できます。

さらに遮蔽カバーと、開放時にX線を自動停止させるインターロック機能を備えており、外部への漏洩を物理的・機構的に二重で防止。

このような設計により、放射線障害防止法上の「管理区域」指定が不要となり、X線作業主任者の選任も求められません。特別な資格を持たない現場担当者でも、安全に運用できる仕組みになっています。

ナノグレイの
非接触厚さ計導入事例

セラミックシートの厚み測定を
安定化し、製造トラブルを解消

レーザー変位計によるセラミックシート厚の測定では、搬送中の振動によって測定値が安定せず、頻繁にトラブルが発生していました。
SX-1100に切り替えたことで、搬送振動下でも±0.1μmの安定した高精度測定が可能となり、製造トラブルは大幅に減少しました。さらに、原材料ロスも18%削減されています。

※参照元:ナノグレイ公式HP(https://www.landingpage-synergy.com/Pm3Aua4w/)

ナノグレイの
サポート内容

法対応から導入・運用までを
トータルサポート

ナノグレイでは、導入前に測定対象物を持ち込んだ実機テストを行い、自社条件で安定した測定が可能かどうかを確認できます。テスト回数に上限はなく、納得できるまで試せます。
導入時には、放射線装置の届け出に必要な書類作成を技術者がサポートし、法対応に伴う不安を軽減します。
導入後は定期点検や調整によって測定精度の長期維持とトラブル予防を支援する体制が整っています。

ナノグレイの会社情報

会社名 ナノグレイ株式会社
本社所在地 大阪府箕面市船場東1-11-16
URL https://www.nanogray.co.jp/
搬送で揺れのない
厚物シート材なら

『thicknessGAUGE C.LL』 Micro-EpsilonJapan

レーザー式
Micro-EpsilonJapan公式サイト
引用元:Micro-EpsilonJapan
https://www.micro-epsilon.jp/measuring-systems/thickness-measurements/thicknessgauge-cl/
装置仕様
測定方法
レーザー式
使用センサ
レーザー三角測量式センサ
測定対象物
プラスチック、木材、金属など工業材として一般的に扱われる素材
厚さ測定範囲
6/50mm
システム精度
±1/±5 µm
測定レート
最大10kHz
測定幅
200 mm/400 mm/600 mm
※モデルラインナップ
本体重量
200 mmモデル:約 13.7 kg
400 mmモデル:約 17.2 kg
600 mmモデル:約 20.4 kg
※Cフレーム+駆動ユニット
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Micro-EpsilonJapan
の非接触厚さ計が
おすすめな理由

三角測量方式の
±1µm精度と
高速応答で
微細な厚み変化も安定測定

「レーザー三角測量式センサ」の採用により、揺れのない安定した搬送条件下で、金属板など厚みのある対象物を高精度に測定できます。システム精度は±1/±5μmと安定しており、最大10kHzの測定レートで微細な厚み変化も捉えることが可能です。

精度と速度を両立できるため、検査時間の短縮はもちろん、品質のばらつき抑制にもつながります。

金属から樹脂まで
幅広い工業材料に対応、
工場導入しやすい

金属・木材・プラスチックなど一般的な工業材料に幅広く対応できる厚さ計です。
極端に反射する表面素材など特殊な条件を除けば、安定した測定ができ、用途の柔軟さが特徴となっています。

本体はコンパクト設計で重量も最大20kg程度と軽量で、設置スペースの制約を受けにくいのも利点。工場内の限られた空間でも導入が容易で、複数ラインでの運用にも適しています。

エッジまで正確に測定し、
品質ムラを見逃さない

ストリップ材やシート材の厚みをセンターラインだけでなくエッジ部分まで正確に測定できます。

加えて、リニアユニットを搭載し、最大600mm幅でのトラバース測定にも対応
対象全体の厚み分布を詳細に把握できるため、品質ムラや異常の早期発見に役立ちます。工程改善のスピードを高め、品質保証体制をより強固なものにすることが可能です。

Micro-EpsilonJapan
の非接触厚さ計
導入事例

公式サイトに事例はありませんでした。

Micro-EpsilonJapanのサポート内容

製品の導入支援から
トラブル対応、
カスタムの相談もOK

Micro-Epsilonの本社はドイツですが、日本の大阪府に販売・サポート拠点を持っています。導入支援や校正、
トラブル対応など、顧客のニーズに応じたサポートを提供。製品によりますが、仕様変更やカスタムにも対応しており、測定環境に合ったソリューションを案内しています。

Micro-EpsilonJapanの会社情報

会社名 MICRO-EPSILON Japan株式会社
本社所在地 大阪府吹田市江坂町1-23-43 ファサード江坂ビル4F
URL https://www.micro-epsilon.jp/
化学組成の異なる
多層フィルムなら

『赤外線極薄厚さ計 IRMT01』 チノー

赤外線式
チノー公式サイト
引用元:チノー公式サイト
https://www.chino.co.jp/jp/serv/products/detail/?did=93
装置仕様
測定方法
赤外線3波長、P偏光正反射方式
光源
タングステンランプ
測定対象物
フィルム、金属など
測定面積
約12×20mm(測定距離50mmにて)
通信出力
RS-485(MODBUS)
出力更新周期
28ms
使用温度範囲
0~40℃
電源
24V DC
消費電力
最大33VA
質量
約7kg
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チノーの非接触厚さ計がおすすめな理由

表面反射を除去し、
異なる層を識別して
層別の厚みを正確に測定

赤外線極薄厚さ計「IRMT01」は、P偏光正反射方式を採用。表面反射を効果的に取り除けるため測定値が安定し、異なる化学組成の層も識別しやすいのが特徴です。

特に多層フィルムや機能性コーティングなど、層ごとの厚みが品質に直結する場面で活用されており、ラミネート製品や光学用途などでも精度の高い測定を実現します。

高速測定により、
インラインでのリアルタイム計測ができる

10µm以下の極薄フィルムに対応し、28msごとの高速更新で生産中の多層フィルムやコーティング層の厚み変化を即座に把握できるので、工程内での条件調整や異常検知を素早く行え、不良やロスの拡大を防ぐことが可能。

測定距離は最大50mmまで対応し、従来よりセンサとフィルムの間隔を広く取れるため、搬送中のわずかな揺れやたわみによる影響を受けにくい仕組みです。
余裕を持った距離設定はインライン設置の自由度を高め、高速で流れるライン上でも安定した測定を維持できます。

自己診断と通信機能で、
運用・管理を効率化

自己診断機能が搭載されており、異常発生時には自動でエラー出力を行うため早期対応が可能。稼働停止や不良拡大を防ぎ、長期運用時のリスク低減につながります。

標準搭載の表示器で測定値をデジタル表示でき、演算機器や警報システムとの連携も容易です。
日常的な点検作業や工程管理の負担を軽減し、効率的な運用と安定した品質管理を後押しします。

チノーの非接触厚さ計
導入事例

公式サイトに事例はありませんでした。

チノーのサポート内容

全国21拠点と点検保守までカバーしたサポート体制

チノーでは、全国に21カ所の営業所・サービス拠点を展開しており、地域に密着した迅速な対応が可能です。フリーダイヤルの「お客様相談室」では、製品の操作や不具合に関する相談を受け付けています。
資料ダウンロード、FAQ、技術用語集など、オンラインでの自己解決支援も充実し、導入・運用の不安を軽減。
公式サイトの「アフターサービス」ページを通じ、修理・校正・点検などの対応を案内しており、故障時や継続運用の支援体制を整えています。

※ 2025年6月調査時点|参照元:チノー公式HP(https://www.chino.co.jp/jp/serv/company/base/)

チノーの会社情報

会社名 株式会社チノー
本社所在地 東京都板橋区熊野町32-8
URL https://www.chino.co.jp/

非接触厚さ計を開発・販売しているメーカーの、取り扱っている製品やスペックなどを簡単にご紹介しています。気になる製品・メーカーがあれば、ぜひ詳細ページをチェックしてみてください。

ナノグレイ
SX-1100

X線式
ナノグレイ公式サイト
引用元:ナノグレイ公式サイト
https://www.landingpage-synergy.com/Pm3Aua4w/

軟X線を用いた厚さ計で、透過減衰量によってシートや物体の厚さ、密度(坪量)を測定します。
揺れにも強く、連続生産ラインでも安定した測定が実現。素材の色や表面形状を選ばず測定できるのも強みです。

測定対象物 銅箔、アルミ箔、ステンレス箔、電池電極、セラミックス(シート、ウェハ)、ガラス繊維クロス
測定範囲 公式サイトに記載はありませんでした。
測定精度 標準2mm
用途 連続生産される薄物シート材の厚み測定
価格 公式サイトに記載はありませんでした。
製品サイズ X線源部:70×83×250mm(標準)/検出部:70×83×220mm(標準)

ヒューテック
AccureX3

X線式
ヒューテック公式サイト
引用元:ヒューテック公式サイト
https://www.futec.co.jp/event/event_blog/3940.html

測定対象物に軟X線を照射し、透過量から厚みや坪量を測定します。
測定条件を1,000種登録できるイージーオペレーションで、業務効率の向上にも寄与します。

測定対象物 プラスチックフィルム、2次電池電極材、グリーンシート、金属箔、不織布
測定範囲 公式サイトに記載はありませんでした。
測定精度 幅方向に対して1mm
用途 広幅製品の厚さ計測
価格 公式サイトに記載はありませんでした。
製品サイズ 公式サイトに記載はありませんでした。
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横河電機
オンライン厚さ計 WEBFREX NV

β線式、X線式、赤外線式、光学式
横河電機公式サイト
引用元:横河電機公式サイト
https://www.yokogawa.co.jp/news/press-releases/2015/2015-05-14-ja/

用途に合わせて、β線式・X線式・赤外線式・光学式多層膜厚計を用いたセンサを用意しています。
オンラインでシートやフィルムの厚みを測定し、
厚さ分布グラフを表示。厚さが均一になるよう自動制御を行います。

測定対象物 単層フィルム、多層フィルム、コーティングシート、電池電極、セパレータシート、セラミックコンデンサなどのシート状製品
測定範囲 β線式検出器:0~5000 g/m²
(アルミニウム換算)
X線式検出器:0~1200 g/m²
(アルミニウム換算)
赤外線式検出器:10~2000 μm
(ポリプロピレン換算)
光学式塗工・多層膜厚計:0.5~200 μm
(ガラス基板上の酸化アルミニウム蒸着サンプル)
測定精度 透過式センサ β線式:0~5,000g/m²
X線式:0~3,000g/m²、赤外線式0~2,000g/m²
反射式センサ 光学式塗工・多層膜厚計:0.5~200μm
用途 シート、フィルムの厚さ測定
価格 公式サイトに記載はありませんでした。
製品サイズ 公式サイトに記載はありませんでした。

キーエンス
分光干渉変位タイプ
多層膜厚測定器 SI-Tシリーズ

レーザー式
キーエンス公式サイト
引用元:キーエンス公式サイト
https://www.keyence.co.jp/products/measure/laser-1d/si-t/

測定が難しかった、厚みムラを見ることができるフィルム厚み測定器です。
キーエンス独自の光量積算機能で、表面が
荒れている素材でも安定した測定
が実現。多層フィルムにおける、各層の厚みも測ることができます。

測定対象物 多層フィルム、粘着層
測定範囲 0.01mm ~ 1.0mm
測定精度 公式サイトに記載はありませんでした。
用途 フィルムの厚さ測定
価格 公式サイトに記載はありませんでした。
製品サイズ 公式サイトに記載はありませんでした。

ミツトヨ
レーザスキャンマイクロメータ センサー部

レーザー式
ミツトヨ公式サイト
引用元:ミツトヨ公式サイト
https://www.mitutoyo.co.jp/products/sensors-and-devices-incorporated-units/non-contact-sensors/lsm/inline-compatible/measuring-unit/544-123/

システムに組み込みやすいサイズ感ながら、IP67の耐環境性能を誇り、厳しい環境のインラインでも使用することができます。
レーザ走査回数3,200 回/ 秒を実現する精密モータを採用、高速スキャンも可能です。

測定対象物 公式サイトに記載はありませんでした。
測定範囲 LSM-02-A:0.005~2 mm、LSM-30-A:0.3~30 mm
測定精度 繰返し精度(2σ):φ1mmで±0.015µm/直線性:±0.3µm(LSM-02-A)
用途 公式サイトに記載はありませんでした。
価格 公式サイトに記載はありませんでした。
製品サイズ 公式サイトに記載はありませんでした。

チノー
赤外線極薄厚さ計 IRMT01

赤外線式
チノー公式サイト
引用元:チノー公式サイト
https://www.chino.co.jp/jp/serv/products/detail/?did=93

10μm以下のフィルムや塗工膜の厚さを計測できる、オンライン型の厚さ計。素材の表面反射を除去できるP偏光正反射方式、高感度光学系の採用で、異なる化学組成を持つ層でも識別しやすいのが特徴です。

測定対象物 フィルム、金属
測定範囲 0.8~10μm
測定精度 公式サイトに記載はありませんでした。
用途 10μm以下のフィルム、塗工膜厚さの測定
価格 公式サイトに記載はありませんでした。
製品サイズ 公式サイトに記載はありませんでした。

Micro-Epsilon Japan
thicknessGAUGE C.LL

レーザー式
Micro-Epsilon Japan公式サイト
引用元:Micro-Epsilon Japan公式サイト
https://www.micro-epsilon.jp/measuring-systems/thickness-measurements/thicknessgauge-cl/

レーザー三角測量式変位センサを採用しており、測定精度は±1/±5µmを実現。
金属・木材・プラスチックといった一般的な工業材料に対応、とくに搬送における揺れが少ない厚物シート材の測定に強みを持ちます。

測定対象物 プラスチック、木材、金属など
測定範囲 6/50 mm
測定精度 ±1/±5 µm
用途 搬送で揺れの少ないシート材の測定
価格 公式サイトに記載はありませんでした。
製品サイズ 公式サイトに記載はありませんでした。

サンコウ電子
コートマスター Flex非接触膜厚計

赤外線式
コートマスター Flex非接触膜厚計
引用元:サンコウ電子研究所公式HP
(https://www.sanko-denshi.co.jp/products/coating-thickness-meters/related-measuring-instruments/coatmasterflex/)

高度な光熱放射法を活用した非接触膜厚計。湿潤/乾燥した状態のコーティング厚についても非接触で測定ができ、局面やエッジ部、コーナー部にも対応しています。さらに、塗装ラインが稼働している市中でもリアルタイムの測定を行えます。

測定対象物 コーティング、ペイント 等
測定範囲 硬化前の粉体塗装:5~300μm
乾燥前のウェットコーティング:5-300μm
硬化粉体塗料:5-500μm
乾燥湿式コーティング:5-500μm
測定精度 公式サイトに記載はありませんでした。
用途 プラスチック上のペイントや粉末コーティングなどの測定
価格 公式サイトに記載はありませんでした。
製品サイズ 374 ×91×203mm

大塚電子
ラインスキャン膜厚計® 【インラインタイプ】

光学式
ラインスキャン膜厚計®【インラインタイプ】
引用元:大塚電子公式HP
(https://www.otsukael.jp/index.php/product/detail/productid/128)

インラインのフィルム生産を行っている現場において、フィルムの膜圧を全幅・全長測定できます。独自の分光干渉法に、高精度膜厚演算処理技術を組み合わせ、高速・高精度な測定を可能としています。また、抜けのない全面フィルム検査を行えます。

測定対象物 フィルム
測定範囲 0.1~300μm
測定精度 公式サイトに記載はありませんでした。
用途 300μm以下のフィルムの測定
価格 公式サイトに記載はありませんでした。
製品サイズ 81×140×343 mm

山文電気
オンラインレーザ式厚さ計測装置

レーザー式
オンラインレーザ式厚さ計測装置
引用元:山文電気公式HP
(https://www.yamabun-ele.co.jp/products/on/nme-rm.html)

専用のモニタで厚さのトレンドグラフや最大値・最小値・平均値・標準偏差を表示でき、一目でシートの状態を把握可能。また、シートの材質や色・柄の影響は受けません。シートの厚みが基準設定値超の場合アラームで告知を行います。

測定対象物 非伝導性プラスチック、ゴム、PC、PET、PP、PSなど
測定範囲 ~3mm
測定精度 公式サイトに記載はありませんでした。
用途 非伝導性プラスチック、ゴムなどの厚さの測定
価格 公式サイトに記載はありませんでした。
製品サイズ 公式サイトに記載はありませんでした。

非接触厚さ計にはさまざまなタイプがあり、それぞれの特徴や強み、測定対象となる材料・精度・使用環境などに合わせて選ぶことが大切です。
測定の信頼性と作業効率を高めるためにも、まずは非接触厚さ計の種類について知っておきましょう。

放射線式・X線の
非接触厚さ計

X線が対象物を透過する際の、減衰量から厚みを測定するタイプ。走行中のシートやフィルムなど、連続的に動いているものの測定に強みを持ちます。
どのような業界・用途で活用されているのか、他方式との違いなどをチェックしておきましょう。

超音波式の
非接触厚さ計

対象物に超音波を当て、反射して戻ってくる時間から厚みを算出するのが超音波式の非接触厚さ計です。
くわしい測定原理や、超音波式ならではの特性、どんな対象物に適した厚さ計なのかなど、
基本的な情報をまとめました。

レーザー式の
非接触厚さ計

レーザー光を測定対象物に照射し、その反射や透過で距離や高さを測定
そのデータから厚みを算出するタイプです。静止しているもの・動いているもの、どちらの測定に向いているのか、どんな業界で使用されているのかなどを解説します。

赤外線式の
非接触厚さ計

素材ごとの赤外線吸収特性を利用し、層ごとの厚みを測定できる方式です。
多層フィルムやコーティング材など「どの層がどれだけ厚いか」を把握したい工程で力を発揮します。
透明・半透明フィルムや機能性材料の品質管理に活用されています。

デジタルタイプの
厚さ計とは

デジタルタイプの厚さ計とは、測定結果をデジタル表示できる測定器です。測定値が見やすく読み取りやすいため、測定時の確認ミスなどを防ぐ効果が期待できます。このタイプの厚さ計の仕組みや特徴についてまとめました。

ハンディタイプの
厚さ計とは

手で持って使用できる厚さ計です。コンパクトで持ち運びがしやすく、現場での作業や調査に向いています
このハンディタイプの厚さ計のメリットや、取り扱っているメーカー・製品をピックアップしてご紹介します。

非接触厚さ計とは、X線・赤外線などの測定方式を用いて、対象物に直接触れることなく厚さを測る装置です。コーティング厚さの管理・薄膜の厚さ測定など、産業分野のさまざまなシーンで活用されている、非接触厚さ計の基礎知識を知っておきましょう。

非接触厚さ計の原理

厚さ計の主な測定方式である、放射線・超音波・レーザー・赤外線・光学式の5種類について解説。それぞれの原理・特徴について、分かりやすくまとめています。選び方のポイントについても、チェックしておいてください。