大塚グループの同社は、医療機器分野をはじめ、分析機器、計測機器を開発から製造・販売まで行うメーカーです。この記事では、大塚電子の非接触厚さ計、サポート体制、導入事例などを紹介します。
顕微分光を使い微小領域での絶対反射率測定で、高精度な膜厚・光学定数解析を行えます。各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや、多層膜を非破壊・非接触で測定可能。
膜厚測定に必要な機能をヘッド部分に集約しており、1秒/ポイントの高速測定ができます。
| 種類 | 顕微分光 |
|---|---|
| 測定対象物 | 各種フィルム、ウェーハ、コーティング膜など |
| 測定範囲 | 1 nm~35 μm/7 nm~49 μm/16 nm~92 μm |
| 測定精度 | φ5、φ10、φ20、φ40 µm |
| 用途 | 機能性フィルム、ウェーハなどのコーティング膜の厚みを測定 |
| 価格 | 公式HPに記載なし |
| 製品サイズ | 556×566×618 mm(自動XYステージタイプ) |
独自の分光干渉法に加え、新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせた膜厚計です。最短0.001秒毎の測定間隔で、500㎜幅(1台使用時)のフィルムの膜厚測定ができます。
インラインでのフィルム生産現場で、フィルムの膜厚を全幅・全長測定可能です。
| 種類 | 分光干渉法 |
|---|---|
| 測定対象物 | インラインでのフィルム生産現場におけるフィルムの膜厚 |
| 測定範囲 | 0.1~300 μm |
| 測定精度 | 公式HPに記載なし |
| 用途 | インラインでのフィルム生産現場におけるフィルムの膜厚 |
| 価格 | 公式HPに記載なし |
| 製品サイズ | 81×140×343 mm |
ウェーハなどの研削研磨プロセスを、非接触でリアルタイムに測定する厚み計です。ウェーハや樹脂を超高速かつリアルタイムに測定できるため、工場の生産ラインでも対応できます。
約φ20μmという微小スポットにより、表面が粗い、ムラが大きいなどの状態でも厚み測定が可能です。
| 種類 | 反射光学系 |
|---|---|
| 測定対象物 | ウェーハ、樹脂 |
| 測定範囲 | 10〜1000μm、10〜775μm、40〜2000μm、100〜2600μm |
| 測定精度 | 公式HPに記載なし |
| 用途 | ウェーハなどの研削研磨プロセスでウェーハや樹脂を測 |
| 価格 | 公式HPに記載なし |
| 製品サイズ | 123×224×128㎜ |
大塚電子の顕微分光膜厚計は、顕微鏡と分光光度計を組み合わせたり、分光干渉法と高精度膜厚演算処理技術を組み合わせたことにより、微小な領域を非接触・非破壊で高精度に膜厚測定できます。さらには1ポイント1秒以下での測定が可能で、極薄膜や多層膜の解析にも適しています。使いやすさにも配慮されており、初めての使用でも簡単に使えます。
非接触厚さ計といっても、計測対象や求める精度によって適した方式は異なります。導入成果の最大化には、使用環境に合った製品選びが重要です。
このサイトでは、「連続生産されるシート材を安定して測定したい」「材質ごとの反射率に左右されず測定したい」「多層構造の膜厚を正確に評価したい」といった計測の対象と目的に応じて選べる非接触厚さ計3選を紹介しています。
特徴や対応方式を比較しながら、自社に合ったモデル選びのヒントとしてご活用ください。
大塚電子は、定期点検・校正や、修理・移設、部品・消耗品購入などについてのサポートが充実しています。装置そのものの保守とは別に、測定などの情報提供も行っています。一部有償のものもありますが、装置保守チームと分析専門のチームが連携して、最良のソリューションを提供してくれます。
各種サポートメニューの資料は、大塚電子公式HPよりダウンロードできます。
公式HPに導入事例が掲載されていませんでした。
| 会社名 | 大塚電子株式会社 |
|---|---|
| 本社所在地 | 大阪府枚方市招提田近3丁目26-3 |
| 電話番号 | 公式HPに記載なし |
| URL | https://www.otsukael.jp/ |
非接触厚さ計は、計測対象となる材料や厚み・範囲、用途に合ったタイプを選ぶことが大切です。
ここでは、計測対象別に適した非接触厚さ計3製品を
紹介していきます。