キーエンス

微細な段差や多層構造の膜厚を非接触で高精度に測定できるキーエンスの厚さ計（膜厚計）。この記事では、分光干渉やレーザー方式を採用した主なラインナップをはじめ、安定運用を支えるサポート体制や導入事例までを詳しくご紹介します。

引用元：キーエンス公式HP
（https://www.keyence.co.jp/products/measure/laser-1d/）

キーエンスの主な非接触厚さ計

分光干渉変位タイプ
多層膜厚測定器
（SI-Tシリーズ）

引用元：キーエンス公式HP
（https://www.keyence.co.jp/products/measure/laser-1d/si-t/）

分光干渉方式レーザー光を使った高精度の変位測定技術により、多層フィルムの各層厚みを非接触で正確に測定できる装置です。従来の透過型測定器で課題となっていた大きなスポット径を克服し、30µmの小スポットと1msの高速サンプリングにより、微細な厚みムラや層構造の変化を「見える化」します。

表面が荒れた粘着層なども、キーエンス独自の光量積算機能によって安定して測定可能。複雑な設定が不要で、誰でも簡単に高精度な厚み測定が行えるのも特徴です。

マイクロヘッド型
分光干渉レーザ変位計
（SI-Fシリーズ）

引用元：キーエンス公式HP
（https://www.keyence.co.jp/products/measure/laser-1d/si-f/）

直径2mmの超小型センサヘッドを備えた高精度な変位計です。近赤外のやさしい光を使って対象物との距離を正確に測定できるため、繊細な部品にも対応可能。

また、センサヘッドには電子部品がなく、光ファイバーとレンズだけで構成されており、狭い場所や高温環境、電気ノイズの多い現場でも安定して使用できます。1nm単位の精密な厚み・すき間・段差測定が可能で、最大6カ所の同時測定や高速データ収集にも対応。データは専用ソフトで簡単に取得・管理できます。

超高速・高精度レーザ変位計
（LK-G5000シリーズ）

引用元：キーエンス公式HP
（https://www.keyence.co.jp/products/measure/laser-1d/lk-g5000/）

非接触で高精度な測定が可能なレーザ変位計です。最速2.55µsの高速サンプリングと最高0.001μmの繰り返し精度で、微細な変化も正確に捉えます。

最大12台のヘッドを接続でき、複数箇所の同時測定やライン全体のモニタリングまで幅広くカバー。金属・ガラス・フィルムなど素材を問わず安定測定が可能で、EV部品や医療機器、製造装置など幅広い現場で活躍します。

キーエンスのサポート体制

レーザ変位計・膜厚測定器を安心して導入・運用できるよう、充実したサポート体制を整えています。専用ソフトによる設定支援や技術スタッフの迅速な対応、無料テスト機の貸し出しにより、導入時の不安や手間を軽減し、スムーズな立ち上げを実現。

全機種に校正機能を備え、修理・校正サービスにも対応しているため、高精度な測定を長く安定して続けることが可能です。また、USBやEthernet、各種ネットワーク経由でのリモート操作やデータ取得も可能なため、省人化や効率的な設備管理を可能にします。

キーエンスの非接触厚さ計
（膜厚計）導入事例

【電子・電機業界の導入事例】
微細な膜厚を高精度に測定でき製造条件を最適化

電子・電機業界では、透明な多層フィルムの膜厚測定にX線式膜厚計が用いられていましたが、測定スポットが大きく、微細な厚みのばらつきを捉えることが困難でした。

そこで、キーエンスの分光干渉式レーザ変位計「SI-Tシリーズ」を導入。微細な膜厚の変化も正確に測定できるようになったことで、吐出流量や圧力、送り速度などの製造条件を最適化できるようになり、製品品質の安定化と生産効率の向上に大きく貢献しました。

※参照元：測り隊.com（https://www.keyence.co.jp/ss/products/measure/library/application/thickness.jsp）

キーエンスの会社情報