ミツトヨ

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レーザーを活用した非接触測定により、停止中のワークに対して高精度な厚さ測定を実現するミツトヨの非接触厚さ計(膜厚計)。この記事では、主なラインアップの特徴や対応可能な測定範囲、安定した測定を支えるサポート体制、用途に応じた選定のポイントをご紹介します。

ミツトヨキャプチャ
引用元:ミツトヨ公式HP
(https://www.mitutoyo.co.jp/products/sensors-and-devices-incorporated-units/non-contact-sensors/)

ミツトヨの主な非接触厚さ計

レーザスキャンマイクロメータ
センサー部(LSM-02-A)

レーザスキャンマイクロメータ センサー部(LSM-02-A)イメージ
引用元:ミツトヨ公式HP
(https://www.mitutoyo.co.jp/products/sensors-and-devices-incorporated-units/non-contact-sensors/lsm/inline-compatible/measuring-unit/544-123/)

非接触かつ高精度なレーザ測長システムの測定部で、最小5µm径まで対応可能な極細線測定に特化した製品です。0.005~2mmの範囲を±0.015μmの繰り返し精度で測定可能。

防塵・防水性能を示す「IP67」に対応。粉じんが内部に侵入せず一時的な水の浸入にも耐えられるため、製造現場の厳しい環境でも安定した高精度測定が実現できます。

                   
種類 レーザスキャン方式
測定対象物 非接触・高精度測定が必要なワーク
測定範囲 0.005~2mm
測定精度 2φmm:±0.03/φ1mm:±0.015µm
用途 インラインでの寸法検査、繰返し精度が求められる工程での品質保証、過酷環境下での寸法モニタリング
価格 公式HPに記載なし
製品サイズ 公式HPに記載なし

レーザスキャンマイクロメータ センサー部(LSM-30-A)

レーザスキャンマイクロメータ センサー部(LSM-30-A)イメージ
引用元:ミツトヨ公式HP
(https://www.mitutoyo.co.jp/products/sensors-and-devices-incorporated-units/non-contact-sensors/lsm/inline-compatible/measuring-unit/544-124/)

非接触・高精度のレーザ測長システム用センサーで、0.3~30mmの広範囲な対象物を±0.06μmの高精度で測定可能です。

防塵・防水規格「IP67」に対応し、粉じんや水がかかる厳しい現場でも安定稼働。受発光部を分離して設置できる柔軟性もあり、インライン検査への導入で、大径ワークの品質管理や自動化・効率化に大きく貢献します。

                   
種類 レーザスキャン方式
測定対象物 非接触・高精度測定が必要なワーク
測定範囲 0.3~30mm
測定精度 φ30mm:±0.09µm/φ10mm:±0.06µm
用途 インラインでの寸法検査、繰返し精度が求められる工程での品質保証、過酷環境下での寸法モニタリング
価格 公式HPに記載なし
製品サイズ 公式HPに記載なし

SurfaceMeasure-Sシリーズ(SurfaceMeasure1008S)

イメージ
引用元:ミツトヨ公式HP
(https://www.mitutoyo.co.jp/products/sensors-and-devices-incorporated-units/non-contact-sensors/linelasersensor/mainsensor/553-100/)

非接触ラインレーザ方式による高精度スキャナで、2次元および3次元形状の測定を高速かつ安定して実現します。最大毎秒10,000ラインの取得と0.5μmの繰り返し精度により、微細な形状差異も確実に把握可能です。

防塵・防水性能はIP67等級に準拠しており、粉じんや水滴が存在する環境下でも安心して利用できます。センサ本体にはソフトウェアが内蔵されているため、設置後すぐに使用開始でき、検査工程の自動化・効率化に貢献します。

                   
種類 ラインレーザ方式
測定対象物 複雑形状を持つ表面、微細で高精度な対象物、可視光反射性を持つワーク
測定範囲 80mm
測定精度 0.5µm
用途 インラインでの外観検査・寸法検査、3D形状の測定と工程内フィードバック、厳しい使用環境下での信頼性ある測定
価格 公式HPに記載なし
製品サイズ 公式HPに記載なし
ミツトヨの
非接触厚さ計は
±0.015μmの高精度と
IP67対応で安定測定

レーザーを活用した非接触方式により、プレートや極細線など停止中のワークを±0.015μmの繰返し精度で測定可能。IP67準拠の防塵・防水設計で、粉じんや水滴のある現場でも安定稼働します。

極細線から大径ワーク、複雑形状まで幅広く対応し、工程内検査の信頼性を向上。校正・修理や教育支援により、導入後の自社運用をサポートします。

非接触厚さ計といっても、計測対象や求める精度によって適した方式は異なります。導入成果の最大化には、使用環境に合った製品選びが重要です。
このサイトでは、「連続生産されるシート材を安定して測定したい」「材質ごとの反射率に左右されず測定したい」「多層構造の膜厚を正確に評価したい」といった計測の対象と目的に応じて選べる非接触厚さ計3選を紹介しています。
特徴や対応方式を比較しながら、自社に合ったモデル選びのヒントとしてご活用ください。

ミツトヨのサポート体制

導入前から導入後まで一貫したサポート体制を提供しています。導入前は、専任エンジニアによる立ち上げ支援や操作説明に加え、製品の実機デモや技術相談が可能な常設ショールーム「M3 Solution Center」にて、導入判断に必要な情報を提供しています。

導入後は、出張・引取りによる保守・修理対応に加え、JCSS対応の校正サービスで測定精度と信頼性を長期間にわたり確保。契約型サービスでは予防保全や修理費無償化など、安定運用を支援します。また、センサ内蔵ソフトにより即時稼働が可能で、教育講座を通じた人材育成支援も行っています。

ミツトヨの非接触厚さ計
(膜厚計)導入事例

公式HPに導入事例が掲載されていませんでした。

ミツトヨの会社情報

会社名 株式会社ミツトヨ
本社所在地 神奈川県川崎市高津区坂戸1-20-1
電話番号 (本社)044-813-8201
(カスタマーサポートセンター)0570-073214
URL https://www.mitutoyo.co.jp/
【計測対象別】
非接触厚さ計3選

非接触厚さ計は、計測対象となる材料や厚み・範囲、用途に合ったタイプを選ぶことが大切です。
ここでは、計測対象別に適した非接触厚さ計3製品を
紹介していきます。

連続生産ラインの
薄物シート材なら
『SX-1100』
ナノグレイ
  • 放射線式

    X線やβ線を素材に照射し、透過した放射線量から厚さを算出。
    振動や素材の色に影響されず、安定した非接触測定が可能。

    【こんな用途におすすめ】

    材質が透明・半透明(フィルム、ガラス)、黒色・光沢のあるものを計測したい。
    高速搬送や振動がある連続ラインで、薄物シートのリアルタイム監視を行いたい。

    放射線式
放射線式
揺れ・素材に強い
汎用型モデル
  • 物質を透過し測定するX線式を採用しているため、黒色材、散乱体など素材を選ばず「透過測定」が可能
  • 高感度・高速応答の放射線検出方法「シンチレーション検出器」採用で、金属箔など薄物の搬送系での精度±0.1μmを実現
搬送で揺れのない
厚物シート材なら
『thicknessGAUGE C.LL』
Micro-EpsilonJapan
  • レーザー式

    上下のレーザー変位センサで表面距離を測定し、その差から厚さを算出。
    非接触でμm単位の高精度測定が可能。

    【こんな用途におすすめ】

    金属・薄いプラスチックで放射線を避けたい。
    静止または揺れの少ない搬送環境で正確に測りたい。

    レーザー式
レーザー式
剛体向け
高精度モデル
  • 揺れのない対象物に精度の高い計測ができる「三角測量方式」を採用し、システム
    精度±1/±5μmを実現
  • 金属・木材・プラスチックなど、一般的な工業材料に対応し、材質ごとの反射率の違いに左右されにくい安定した測定ができる
化学組成の異なる
多層フィルムなら
『赤外線極薄厚さ計IRMT01』
チノー
  • 赤外線式

    素材が特定波長の赤外線を吸収する性質を利用し、層ごとの厚みを測定。
    多層フィルムの非破壊・非接触測定に向いている。

    【こんな用途におすすめ】

    コーティング膜や電池電極など多層を見分けたい。
    極薄膜をリアルタイムでモニタリングしたい。

    赤外線式
赤外線式
薄膜対応の
層別測定特化モデル
  • 表面反射を除去して精度を高める「P偏光正反射方式」により、異なる化学組成の層を識別しやすい
  • 10µm以下の極薄膜に対応し、28msの高速更新周期でインライン厚み管理が可能。リアルタイムに変化を把握でき、工程調整や不良発生を抑制