レスター

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現在使用している測定器の精度や使い勝手に不満を感じ、リプレイスを検討している人に向けて、株式会社レスターが提供する光学式非接触膜厚測定器の特徴や仕様について解説します。自社の要件に合致するかどうかの判断基準としてご活用ください。

レスター公式HPキャプチャ
引用元:レスター公式HP
(https://www.restargp.com/)

レスターの主な非接触厚さ計

レスターでは、θ Metrisis(ThetaMetrisis)製の膜厚計を取り扱っています。ここでは卓上型非接触式膜厚計である「FR-ES」の仕様を紹介します。

FR-ES / 光学式非接触膜厚測定器

FR-ES製品イメージ
引用元:レスター公式HP
(https://www.restarcc.com/products_denshikiki/optoelectronics/thetametrisis/item_161)

FR-ESの特徴は、成膜直後にスピーディな測定が可能であること。測定範囲は数十ナノメートルから数十ミクロンレンジと広範にわたり、サンプルの構成に応じますが、最大で5層までの多層膜を同時に測定する能力を備えています

ボタン1つで素早く結果が判明し、半導体前工程やフィルムの流延、Roll to Rollなど各生産工程への取り付けにも柔軟に対応が行えます。

また、測定対象の形状や状態に対する柔軟な対応力もあり、測定ステージのアーム部分には「ハイトアジャスター」が標準装備。極めて薄いフィルムから、高さのあるガラス基板、さらにはブロック形状の立体物まで、対象物の厚みや形状に制約されることなく適切な位置で測定を行うことができます。

具体的なスペックは以下の表を確認し、現在の測定器の仕様と比較検討してください。

種類 光学式非接触膜厚測定器
測定対象物 ウェーハ、フィルムといったシート状の薄い基材、高さのあるガラス基板、ブロック形状物など
測定範囲 3nm〜250μm(※選択する分光波長範囲のタイプにより異なります)
測定精度 測定正確さ:±0.2% または 1nm のどちらか大きい方
用途 膜厚測定、板厚測定、シリコンウェーハの厚さ測定、分光反射率の測定、分光透過率の測定
価格 公式サイトに記載がありませんでした。
製品サイズ 幅390mm、奥行き320mm、高さ420mm
レスターの
非接触厚さ計は多様な生産工程に
柔軟に対応する
高精度・スピーディな膜厚計

レスターの非接触厚さ計「FR-ES」は、厚さ数十ナノメートルから数十ミクロンレンジの膜厚測定を得意とし、層の厚さだけでなく最大5層の同時測定や、光学定数の解析が可能です。また、測定ステージのアームにはハイトアジャスターが標準装備されており、様々な形状のサンプルに対応できます。

狭いスペースへの設置や、粗面サンプルの測定に課題を感じている場合は、ファイバーケーブル方式や焦点距離可変レンズを採用している本製品が向いているといえるでしょう。

非接触厚さ計といっても、計測対象や求める精度によって適した方式は異なります。導入成果の最大化には、使用環境に合った製品選びが重要です。
このサイトでは、「連続生産されるシート材を安定して測定したい」「材質ごとの反射率に左右されず測定したい」「多層構造の膜厚を正確に評価したい」といった計測の対象と目的に応じて選べる非接触厚さ計3選を紹介しています。
特徴や対応方式を比較しながら、自社に合ったモデル選びのヒントとしてご活用ください。

レスターのサポート体制

レスターでは非接触厚さ計の導入を検討している企業に対して、「無料オンライン膜厚サンプル測定」の実施を行なっています。このサービスを利用することで、顧客は自社サンプルを用いて、導入前に測定精度や操作性を確認することができるでしょう。また、導入に関する技術的な詳細や、特定の生産ラインへの適合性についての相談窓口も用意。公式サイトの専用の問い合わせフォームを通じて、製品の詳細仕様の確認や、固有の測定環境における技術的な課題に対する相談も行えます。

レスターの非接触厚さ計(膜厚計)導入事例

公式サイトに記載がありませんでした。

レスターの情報

会社名 株式会社レスター
本社所在地 東京都港区港南2-10-9 レスタービルディング
電話番号 03-3458-4618
公式HP https://www.restargp.com/
【計測対象別】
非接触厚さ計3選

非接触厚さ計は、計測対象となる材料や厚み・範囲、用途に合ったタイプを選ぶことが大切です。
ここでは、計測対象別に適した非接触厚さ計3製品を
紹介していきます。

連続生産ラインの
薄物シート材なら
『SX-1100』
ナノグレイ
  • 放射線式

    X線やβ線を素材に照射し、透過した放射線量から厚さを算出。
    振動や素材の色に影響されず、安定した非接触測定が可能。

    【こんな用途におすすめ】

    材質が透明・半透明(フィルム、ガラス)、黒色・光沢のあるものを計測したい。
    高速搬送や振動がある連続ラインで、薄物シートのリアルタイム監視を行いたい。

    放射線式
放射線式
揺れ・素材に強い
汎用型モデル
  • 物質を透過し測定するX線式を採用しているため、黒色材、散乱体など素材を選ばず「透過測定」が可能
  • 高感度・高速応答の放射線検出方法「シンチレーション検出器」採用で、金属箔など薄物の搬送系での精度±0.1μmを実現
搬送で揺れのない
厚物シート材なら
『thicknessGAUGE C.LL』
Micro-EpsilonJapan
  • レーザー式

    上下のレーザー変位センサで表面距離を測定し、その差から厚さを算出。
    非接触でμm単位の高精度測定が可能。

    【こんな用途におすすめ】

    金属・薄いプラスチックで放射線を避けたい。
    静止または揺れの少ない搬送環境で正確に測りたい。

    レーザー式
レーザー式
剛体向け
高精度モデル
  • 揺れのない対象物に精度の高い計測ができる「三角測量方式」を採用し、システム
    精度±1/±5μmを実現
  • 金属・木材・プラスチックなど、一般的な工業材料に対応し、材質ごとの反射率の違いに左右されにくい安定した測定ができる
化学組成の異なる
多層フィルムなら
『赤外線極薄厚さ計IRMT01』
チノー
  • 赤外線式

    素材が特定波長の赤外線を吸収する性質を利用し、層ごとの厚みを測定。
    多層フィルムの非破壊・非接触測定に向いている。

    【こんな用途におすすめ】

    コーティング膜や電池電極など多層を見分けたい。
    極薄膜をリアルタイムでモニタリングしたい。

    赤外線式
赤外線式
薄膜対応の
層別測定特化モデル
  • 表面反射を除去して精度を高める「P偏光正反射方式」により、異なる化学組成の層を識別しやすい
  • 10µm以下の極薄膜に対応し、28msの高速更新周期でインライン厚み管理が可能。リアルタイムに変化を把握でき、工程調整や不良発生を抑制