コムス

コムスは、高精度な自動ステージや計測制御システムを提供する専門メーカーです。主力製品の非接触厚み測定システムは、半導体ウエハや柔らかい対象物を傷つけずに測定でき、研究開発や品質管理の現場で評価されています。本記事では、コムスが取り扱う厚さ計の特徴やサポート体制、会社情報について詳しく解説します。

   

               

引用元：コムス公式HP
（https://www.coms-corp.co.jp/）

   

コムスの主な非接触厚さ計

非接触厚み測定システム

   

               

引用元：コムス公式HP
（https://www.coms-corp.co.jp/product/ems/atsumi/ems_atsumi_sokutei_index.html）

   

レーザ変位センサを2台使用し、測定対象物を上下から挟み込んで非接触で厚みを測定するシステムです。自動ステージシステムと連動することで、多点測定や厚み変化のマッピングを自動でおこなえます。接触式では傷がついてしまう半導体ウエハや液晶ガラス、接触圧で変形しやすい柔らかいサンプルの測定に適しています。

専用の厚み測定治具にはセンサ固定治具やサンプル設置台があらかじめセットアップされており、難しい位置合わせや設定も簡単におこなえます。また、対象物の大きさや形状に合わせてカスタマイズが可能です。

コムスのサポート体制

公式サイトにはサポート体制に特化した専用ページの記載はありませんでしたが、導入にあたって事前の実機テストが可能であることが明記されています。

また、測定するサンプルの大きさや形状に合わせて、サンプル設置部分などのカスタマイズやオプション対応をおこなっているため、自社の環境に合わせた柔軟な導入が可能です。

コムスの非接触厚さ計（膜厚計）導入事例

公式サイトに記載がありませんでした。

コムスの情報