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遠藤科学

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遠藤科学は、多種多様な計測器や科学機器を取り扱う企業です。導体や半導体から絶縁体まで幅広い素材に対応する製品を扱っており、製造現場や検査工程における高精度な計測ニーズに応えています。本ページでは、同社が扱う主な非接触厚さ計の特徴と仕様を解説します。

引用元：遠藤科学公式HP
（https://www.endokagaku.co.jp/）

遠藤科学の主な非接触厚さ計

CL-7100シリーズ

引用元：遠藤科学公式HP
（https://www.endokagaku.co.jp/catalog/product/onosokki_cl-7100/）

小野測器製の静電容量式非接触厚さ計です。CL-5610シリーズの後継機として計測精度と応答性能が向上したモデル。シリコンウェハーや電磁鋼板、EVバッテリー用フィルムなどの計測に適しています。直感的に操作できるカラー液晶タッチパネルディスプレイを搭載し、最大4項目の計測データを同時表示できます。

さらに、オプションで環境温度の計測と補正機能にも対応し、温度変化に伴う誤差を低減した正確な計測が可能です。

種類	静電容量式非接触厚さ計（CL-7100シリーズ）
測定対象物	【導体・半導体】シリコンウェハー、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金属板など【絶縁体】ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどプラスチック類（※絶縁体の測定にはオプション機能の搭載が必要です）
測定範囲	適合センサーによる（※システムに組み合わせる変位センサーの種類や対象物により異なります。）
測定精度	【標準時】測定分解能：0.1µm〜1.0µm / 精度：±0.15% FS 【高分解能演算機能搭載時】測定分解能：0.02µm〜0.5µm / 精度：±0.05% FS〜±0.12% FS （※適合センサーとの組み合わせによる一例）
用途	シリコンウェハー、電磁鋼板、EVバッテリー用フィルムなどの高精度な厚さ計測、ギャップ・段差・平行度の測定、検査工程の効率化など
価格	要問い合わせ
自重	要問い合わせ

遠藤科学の
非接触厚さ計は金属から絶縁体まで高速・高精度に測定

小野測器製の静電容量式センサーを搭載した製品を取り扱っており、金属や半導体だけでなく、ガラスやプラスチックといった絶縁体まで幅広い素材を非接触で測定します。接触式ではキズがつく素材や変形しやすい薄膜でも、対象物に影響を与えず高い再現性を実現できる点が強みです。

非接触厚さ計といっても、計測対象や求める精度によって適した方式は異なります。導入成果の最大化には、使用環境に合った製品選びが重要です。
このサイトでは、「連続生産されるシート材を安定して測定したい」「材質ごとの反射率に左右されず測定したい」「多層構造の膜厚を正確に評価したい」といった計測の対象と目的に応じて選べる非接触厚さ計3選を紹介しています。
特徴や対応方式を比較しながら、自社に合ったモデル選びのヒントとしてご活用ください。

【計測対象別】非接触厚さ計3選