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オプトシリウス

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オプトシリウスは、分光反射率測定を利用した光学式の非接触厚さ計（膜厚計）を提供しています。本記事では、オプトシリウスが提供する非接触タイプの厚さ計について解説します。

引用元：オプトシリウス公式HP
（https://www.optosirius.co.jp/）

オプトシリウスの主な非接触厚さ計

SKOP 光学式膜厚測定システム

代表製品である「SKOP」は、光学薄膜の分光反射率を測定し、取得したスペクトルを専用ソフトウェアで解析することで膜厚を算出するシステムです。測定対象に接触することなく膜厚を評価できるため、半導体ウェハや光学コーティング膜、各種薄膜の測定用途に対応しています。

オーシャンオプティクス製分光器、ハロゲン光源、反射プローブなどを採用し、専用ソフトウェアによって膜厚を算出します。標準構成に加え、測定対象や膜厚に応じたカスタマイズにも対応しています。

種類	光学式膜厚測定システム（非接触）
測定対象物	Si、SiO2、SiN、SiC、LiNbO3（ニオブ酸リチウム）
測定範囲	1.5～70.0μm（nd換算）
測定精度（標準偏差）	SiO2（厚み1.6μm時）：0.001μm Air（厚み10.0μm時）：0.007μm Air（厚み30.0μm時）：0.01μm Si（厚み1.5μm時）：0.0003μm Si（厚み9.0μm時）：0.004μm
用途	光学薄膜の膜厚測定、研究開発、製造工程での膜厚評価
価格	2,178,000円（税込）
製品サイズ	公式サイトに記載がありませんでした。

光学式の非接触厚さ計とは

オプトシリウスの
非接触厚さ計は光学干渉を利用した膜厚測定システム

オプトシリウスのSKOPは、分光反射率の測定結果を専用ソフトウェアで解析し、非接触で膜厚を測定できる光学式システムです。測定可能膜厚範囲は1.5～70.0μm（nd換算）で、半導体関連材料や光学コーティング膜、フィルムなどの測定に対応しています。標準パッケージに加えてカスタマイズにも対応しており、用途に応じたシステム構築が可能です。

非接触厚さ計といっても、計測対象や求める精度によって適した方式は異なります。導入成果の最大化には、使用環境に合った製品選びが重要です。
このサイトでは、「連続生産されるシート材を安定して測定したい」「材質ごとの反射率に左右されず測定したい」「多層構造の膜厚を正確に評価したい」といった計測の対象と目的に応じて選べる非接触厚さ計3選を紹介しています。
特徴や対応方式を比較しながら、自社に合ったモデル選びのヒントとしてご活用ください。

【計測対象別】非接触厚さ計3選

オプトシリウスのサポート体制

オプトシリウスでは、標準パッケージだけでなく、測定対象や膜厚に応じた分光器・光源・レンズ構成の変更に柔軟に応じています。

また、インライン測定や制御機器との通信を含む自動化システムのカスタマイズも可能です。システムの導入前評価用として、デモ機の貸し出しサービスも提供しています。

オプトシリウスの非接触厚さ計（膜厚計）導入事例

公式サイトに記載がありませんでした。

オプトシリウスの情報

会社名	オプトシリウス株式会社
本社所在地	東京都北区赤羽西1-2-14 MYビル2・3F
電話番号	03-5963-6377
公式HP	https://www.optosirius.co.jp/