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ポケットデザイン

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ポケットデザインは、長野県諏訪市に拠点を置く測定機・検査機の設計製作メーカーです。測定機の設計から加工、組立、調整までを社内一貫体制で行っており、要求仕様に応じたオーダーメイドの非接触厚さ計を提供しています。

本記事では、ポケットデザインが手がける非接触厚さ計「非接触ウェハ厚み測定機」の特長や主な仕様、用途について解説します。

引用元：ポケットデザイン公式HP
（https://www.pocket-design.jp/index.html）

ポケットデザインの主な非接触厚さ計

非接触ウェハ厚み測定機

引用元：ポケットデザイン公式HP
（https://www.pocket-design.jp/index.html）

非接触ウェハ厚み測定機は、キーエンス製の分光干渉計「SI-F10」シリーズを2本使用し、φ150サイズのシリコンウェハの厚みを非接触で測定する装置です。上下からセンサを配置する構造により、ウェハ単体の厚みとウェハに貼付されたテープの厚みを同時に測定できる点が特徴です。

モーター2軸によるシーケンス制御で自動搬送と測定を行い、繰返し測定精度はウェハ単体で±0.3ミクロン以下、テープ厚みで±1ミクロン以下を実現しています。装置サイズは巾350×高さ600×奥行500mmです。

種類	非接触厚み測定機
測定対象物	シリコンウェハ（φ150サイズ）、ウェハ貼付テープ
対応サイズ	φ150サイズウェハに対応
測定精度	繰返し測定精度　ウェハ単体±0.3ミクロン以下、テープ厚み±1ミクロン以下
用途	半導体ウェハの厚み測定、ウェハとテープの厚み同時測定、ウェハ加工・検査工程
価格	公式サイトに記載なし
製品サイズ	巾350×高さ600×奥行500mm

光学式の非接触厚さ計とは

ポケットデザインの
非接触厚さ計はオーダーメイド対応でウェハとテープを同時測定

ポケットデザインの「非接触ウェハ厚み測定機」は、既製品ではなく測定対象物や現場の要求仕様に合わせて設計できるオーダーメイド型の非接触厚さ計です。分光干渉式センサを2本使用し、ウェハとテープの厚みを同時に高精度測定できる点が強みで、半導体製造ラインの品質管理工程などに適しています。

非接触厚さ計といっても、計測対象や求める精度によって適した方式は異なります。導入成果の最大化には、使用環境に合った製品選びが重要です。
このサイトでは、「連続生産されるシート材を安定して測定したい」「材質ごとの反射率に左右されず測定したい」「多層構造の膜厚を正確に評価したい」といった計測の対象と目的に応じて選べる非接触厚さ計3選を紹介しています。
特徴や対応方式を比較しながら、自社に合ったモデル選びのヒントとしてご活用ください。

【計測対象別】非接触厚さ計3選

ポケットデザインの非接触厚さ計（ウェハ厚み測定機）導入事例

公式サイトに具体的な導入事例の掲載はありませんでした。

ポケットデザインの情報

会社名	株式会社ポケットデザイン
本社所在地	長野県諏訪市南町1-1　長野PRビル1F
電話番号	0266-78-8920
公式HP	https://www.pocket-design.jp/