小野測器

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小野測器は、音響・振動計測機器や回転計測機器、寸法・変位計測機器などを開発・販売している計測機器メーカーです。その中でも寸法・変位の計測において、非接触厚さ計を提供しています。

本記事では、小野測器が提供する静電容量式非接触厚さ計「CL-7100シリーズ」の特長や主な仕様、用途について解説します。

小野測器 厚さ計 イメージ
引用元:小野測器公式HP
(https://www.onosokki.co.jp/)

小野測器の主な非接触厚さ計

CL-7100シリーズ

CL7100シリーズ
引用元:小野測器公式HP
(https://www.onosokki.co.jp/HP-WK/products/keisoku/thickness/cl7100.htm)

CL-7100シリーズは、ロングセラー機「CL-5610シリーズ」の後継として登場した静電容量式非接触厚さ計です。対象物に物理的な影響を与えない非接触計測のメリットはそのままに、従来機に比べ演算周期が短縮され、より高精度・高応答な計測が可能になりました。導体や半導体はもちろん、オプション機能を追加することでガラスやプラスチックといった絶縁体の計測にも対応します。

また、環境温度を計測して誤差を補正する機能や、Ethernet通信(オプション)によるデータ収集や遠隔監視機能など、現場の自動化・効率化を支援する新機能が追加されているのも大きな特徴です。従来機比で体積・質量ともに約50%(半分)のサイズ・軽量化を実現しています。

種類 静電容量式非接触厚さ計
測定対象物 導体、半導体、絶縁体(絶縁体はオプション「CL-0740」搭載時)
測定範囲 接続するセンサーによって異なる
測定精度 ±0.15 % FS(標準)、±0.05 % FS〜±0.12 % FS(高分解能演算機能オプション装着時、センサーとの組み合わせによる)
用途 シリコンウェハー、電磁鋼板、EVバッテリー用フィルム、ガラス、水晶、プラスチックフィルムなどの厚み計測
価格 参照ページ内に記載なし
製品サイズ 210(W) × 99(H) × 150(D) mm(突起部含まず)
小野測器の
非接触厚さ計は高精度化・小型化を実現した次世代モデル

小野測器の「CL-7100シリーズ」は、導体からオプションでの絶縁体計測まで幅広く対応する非接触厚さ計です。従来製品から大幅な小型・軽量化を果たしつつ、応答速度や計測精度が向上しています。さらに、温度変化による誤差の補正機能やEthernet通信(オプション)によるデータ収集・遠隔監視機能を備えている点も特徴です。

非接触厚さ計といっても、計測対象や求める精度によって適した方式は異なります。導入成果の最大化には、使用環境に合った製品選びが重要です。
このサイトでは、「連続生産されるシート材を安定して測定したい」「材質ごとの反射率に左右されず測定したい」「多層構造の膜厚を正確に評価したい」といった計測の対象と目的に応じて選べる非接触厚さ計3選を紹介しています。
特徴や対応方式を比較しながら、自社に合ったモデル選びのヒントとしてご活用ください。

小野測器の非接触厚さ計(膜厚計)導入事例

公式サイトに具体的な導入事例の掲載はありませんでしたが、シリコンウェハーや電磁鋼板、フィルム、ガラスなどの計測例が紹介されています。

小野測器の情報

会社名 株式会社小野測器 Ono Sokki Co., Ltd.
本社所在地 神奈川県横浜市西区みなとみらい3-3-3 横浜コネクトスクエア12F
電話番号 0120-388-841(お客様相談室)
公式HP https://www.onosokki.co.jp/
【計測対象別】
非接触厚さ計3選

非接触厚さ計は、計測対象となる材料や厚み・範囲、用途に合ったタイプを選ぶことが大切です。
ここでは、計測対象別に適した非接触厚さ計3製品を
紹介していきます。

連続生産ラインの
薄物シート材なら
『SX-1100』
ナノグレイ
  • 放射線式

    X線やβ線を素材に照射し、透過した放射線量から厚さを算出。
    振動や素材の色に影響されず、安定した非接触測定が可能。

    【こんな用途におすすめ】

    材質が透明・半透明(フィルム、ガラス)、黒色・光沢のあるものを計測したい。
    高速搬送や振動がある連続ラインで、薄物シートのリアルタイム監視を行いたい。

    放射線式
放射線式
揺れ・素材に強い
汎用型モデル
  • 物質を透過し測定するX線式を採用しているため、黒色材、散乱体など素材を選ばず「透過測定」が可能
  • 高感度・高速応答の放射線検出方法「シンチレーション検出器」採用で、金属箔など薄物の搬送系での精度±0.1μmを実現
搬送で揺れのない
厚物シート材なら
『thicknessGAUGE C.LL』
Micro-EpsilonJapan
  • レーザー式

    上下のレーザー変位センサで表面距離を測定し、その差から厚さを算出。
    非接触でμm単位の高精度測定が可能。

    【こんな用途におすすめ】

    金属・薄いプラスチックで放射線を避けたい。
    静止または揺れの少ない搬送環境で正確に測りたい。

    レーザー式
レーザー式
剛体向け
高精度モデル
  • 揺れのない対象物に精度の高い計測ができる「三角測量方式」を採用し、システム
    精度±1/±5μmを実現
  • 金属・木材・プラスチックなど、一般的な工業材料に対応し、材質ごとの反射率の違いに左右されにくい安定した測定ができる
化学組成の異なる
多層フィルムなら
『赤外線極薄厚さ計IRMT01』
チノー
  • 赤外線式

    素材が特定波長の赤外線を吸収する性質を利用し、層ごとの厚みを測定。
    多層フィルムの非破壊・非接触測定に向いている。

    【こんな用途におすすめ】

    コーティング膜や電池電極など多層を見分けたい。
    極薄膜をリアルタイムでモニタリングしたい。

    赤外線式
赤外線式
薄膜対応の
層別測定特化モデル
  • 表面反射を除去して精度を高める「P偏光正反射方式」により、異なる化学組成の層を識別しやすい
  • 10µm以下の極薄膜に対応し、28msの高速更新周期でインライン厚み管理が可能。リアルタイムに変化を把握でき、工程調整や不良発生を抑制