ナプソン

ナプソンは、半導体ウエハや薄膜材料の抵抗率・シート抵抗、厚さ測定器の開発・製造を手がける専門メーカーです。1984年の設立以来、世界各国の電子デバイス製造現場へ最先端の計測ソリューションを供給しています。この記事では、ナプソンが提供する非接触ウエハフラットネス・厚さ測定システム「FLA-200」の特徴やサポート体制、会社情報について詳しく解説します。

引用元：ナプソン公式HP
（https://www.napson.co.jp/）

ナプソンの主な非接触厚さ計

FLA-200 ウエハーフラットネス測定システム

引用元：ナプソン公式HP
（https://www.napson.co.jp/products/flat/product01/）

FLA-200は、半導体や太陽電池材料として用いられるウエハサンプルの厚さと平坦度（フラットネス）を同時に計測できる非接触式の測定システムです。5mm径の静電容量式プローブを採用しており、繊細なウエハ表面に一切接触することなく、極めて高精度な測定を実現しています。

最大の特長は、60秒以内に最大12,000点もの多点スキャンを行うことができる圧倒的な高速測定性能です。ウエハ全体の厚み変化（TTV）に加え、自重や内部応力によるソリ（BOW、WARP）、さらにはASTM規格に準拠したサイト/グローバルフラットネスまで一元的に数値化します。付属の専用ソフトウェアは、収集したデータを2Dおよび3Dマッピングで視覚的にわかりやすく表示できるため、開発現場や量産ラインの検査効率を劇的に向上させます。

ナプソンのサポート体制

ナプソンでは、製品の検討段階から導入後に至るまで、測定の専門メーカーならではの手厚いアフターサービス体制を構築しています。同社の「千葉技術センター」には各種デモ製品が常設されており、納入前に技術スタッフへ相談しながら、機器の操作感や設置寸法を直接確認することが可能です。

また、「お客様の対象物で実際の測定結果はどうなるか」を事前に確認できるデモ測定にも柔軟に対応しています。これにより、自社のウエハサンプルや薄膜が期待通りの精度で評価可能かを事前にクリアにできるため、ミスマッチのない確実な機器選定をサポートしてくれます。

ナプソンの非接触厚さ計（膜厚計）導入事例

ナプソンの公式サイト内では、具体的な納入企業名や詳細な事例インタビューは掲載されていませんでした。しかし、測定対象として「シリコンやSiC、GaN等の化合物半導体ウエハ」「太陽電池材料の品質検査」が挙げられており、ナノ・ミクロン単位の厳密なプロファイル管理が不可欠な大手半導体デバイスメーカー、材料メーカーの研究開発部門やクリーンルーム内検査工程での信頼性が高い実績を多数持っていることが窺えます。個別ウエハに対する応用確認や詳細な事例については、直接デモ測定を含めて相談することをおすすめします。

ナプソンの会社情報