佐々木工機

レーザー方式を採用しており、半導体ウエハーや金属などの測定対象物に傷やコンタミなどのダメージを与えずに測定できます。上下に対向配置されたレーザーセンサーヘッドにより、対象物のソリによる浮き上がりに影響されず正確な厚さを測定できる点が強みです。分解能0.01μmの高精度な測定が可能で、厚さだけでなくソリや平行度などの繰り返し測定にも対応しており、特殊な仕様についても相談が可能です。

非接触厚さ計といっても、計測対象や求める精度によって適した方式は異なります。導入成果の最大化には、使用環境に合った製品選びが重要です。
このサイトでは、「連続生産されるシート材を安定して測定したい」「材質ごとの反射率に左右されず測定したい」「多層構造の膜厚を正確に評価したい」といった計測の対象と目的に応じて選べる非接触厚さ計3選を紹介しています。
特徴や対応方式を比較しながら、自社に合ったモデル選びのヒントとしてご活用ください。