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ジャステム

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ジャステムは、新潟県長岡市に本社を置く測定機・検査機・自動化設備の設計製作メーカーです。Si、SiC、サファイアなどのウェーハを対象とした測定機・検査機や、自動化・省力化装置を手がけています。

本記事では、ジャステムが手がけるレーザー式の非接触厚さ測定機「φ450mmウェーハ厚さ測定機 FTM-02型」の特徴や主な仕様、測定対象について解説しますので、ぜひご一読ください。

引用元：ジャステム公式HP
（https://www.justem.jp/）

ジャステムの主な非接触厚さ計

φ450mmウェーハ厚さ測定機 FTM-02型

引用元：ジャステム公式HP
（https://www.justem.jp/product/dtl.html?id=2&cat=1-1）

「φ450mmウェーハ厚さ測定機 FTM-02型」は、大口径のシリコンウェーハを対象とした厚さ測定機です。レーザ測長器を使用してウェーハの厚さを非接触で測定でき、カセットなどに収納されたシリコンウェーハの自動測定にも対応しています。

測定したデータはPCに保存でき、多点測定や断面厚さ測定、厚さ測定マップの表示にも対応。大口径ウェーハの厚さ測定を自動化し、測定データを活用した管理を行いたい場合に適した装置です。

種類	レーザー式
測定対象物	シリコンウェーハ（φ450mm）
対応サイズ	φ450mm
測定精度	公式サイトに記載なし
用途	ウェーハの厚さ測定
価格	公式サイトに記載なし
製品サイズ	公式サイトに記載なし

光学式の非接触厚さ計とは

ジャステムの
非接触厚さ計はφ450mmの大口径ウェーハ測定を自動化

ジャステムの「φ450mmウェーハ厚さ測定機 FTM-02型」は、φ450mmという大口径サイズのウェーハ測定に対応し、自動で厚み測定を行う装置として展開されています。

φ450mmクラスの大口径ウェーハを取り扱っており、手動での測定から自動化へ移行したいと考えている工場におすすめです。

非接触厚さ計といっても、計測対象や求める精度によって適した方式は異なります。導入成果の最大化には、使用環境に合った製品選びが重要です。
このサイトでは、「連続生産されるシート材を安定して測定したい」「材質ごとの反射率に左右されず測定したい」「多層構造の膜厚を正確に評価したい」といった計測の対象と目的に応じて選べる非接触厚さ計3選を紹介しています。
特徴や対応方式を比較しながら、自社に合ったモデル選びのヒントとしてご活用ください。

【計測対象別】非接触厚さ計3選